【CN201910720478.4】用于检测机械压力机中的故障的设备和方法 标题：用于检测机械压力机中的故障的设备和方法 申请号：CN201910720478.4 申请人：先进科技新加坡有限公司 申请日：2019-8-6 专利类型：发明申请 本发明提供了一种用于检测用于冲压半导体元件的压力机中的故障的设备和方法，其中所述方法包括以下步骤：将半导体元件定位在所述压力机中所包括的第一模具组部分与第二模具组部分之间；以及使所述第一模具组部分和所述第二模具组部分相对于彼此移动，以冲压位于其间的所述半导体元件。所述方法进一步包括以下步骤：在冲压所述半导体元件的同时，当所述第一模具组部分相对于所述第二模具组部分移动时，用附接到所述第一模具组部分和/或所述第二模具组部分的传感器来监控在所述第一模具组部分的不同位置处的参数；以及比较所述第一模具组部分相对于所述第二模具组部分的不同位置处的所述参数的当前变化与当冲压所述半导体元件的同时不存在故障时，在所述压力机的正常操作期间所述第一模具组部分相对于所述第二模具组部分的位置处的所述参数的预期变化。所述方法还包括以下步骤：当所述参数的所述当前变化不同于所述参数的所述预期变化时，确定所述压力机中已发生故障。
